马志波
| 姓名 | 马志波 |
| 教师编号 | 5606 |
| 性别 | |
| 学校 | 西北工业大学 |
| 部门 | |
| 学位 | |
| 学历 | |
| 职称 | |
| 联系方式 | |
| 邮箱 | |
| 人气 |
科学研究 Scientific Research 马志波，博士生导师，国家级领军人才，国家重点研发计划项目首席科学家。围绕特种MEMS传感器芯片制造技术难题，长期从事硅基MEMS制造技术、SiC及蓝宝石耐高温材料MEMS制造技术以及面向极端环境的特种MEMS传感器等的应用基础研究。主持国家重点研发计划、共用技术项目、2机专项课题、国家自然基金面上项目以及重大研究计划培育项目等16项。在硅基MEMS大异宽高深宽比微结构可控刻蚀、碳化硅及单晶蓝宝石等耐高温材料的微纳制造工艺方面取得了诸多研究成果。获2019年国家技术发明二等奖1项（航空航天特种MEMS制造技术及其应用，第3完成人），机械工程学会技术发明一等奖1项，教育部技术发明二等奖1项，发表SCI论文30余篇，授权发明专利14项，参与制订“基于SOI 硅片的MEMS 工艺规范”国家标准（GB/T32814-2016）。现任陕西省微/纳米系统重点实验室主任，兼任全国专业计量技术委员会委员以及中国微米纳米技术学会特种微纳器件与系统分会理事等。近5年主持的国家级项目：1. 国家重点研发计划：晶圆级碳化硅微纳加工工艺及传感器研制，2024.1-2026.12，800万，主持。2. 国家级军口项目：×××技术研究，2023.7-2024.10，500万，主持。3. 国家级军口项目：极/甚×××制造技术研究，2022.1.1-2026.12.31，500万，主持。4. 国家自然基金重大研究计划：面向发动机噪声原位测试的光纤MEMS传感及其高温自补偿方法研究，2021.1-2023.12，65万，主持。5. 国家级军口项目：蓝宝石基×××技术，2019.12-2022.12，1800万/550万，课题二负责人。6. 国家级军口项目：耐高温×××加工技术，2016.12-2020.12，221万，主持。7. 国家自然科学基金面上项目：超高深宽比仿生纳米纤毛阵列研究，2015.1-2018.12，85万，主持。 教育教学学术成果 Academic Achievements 代表性研究论文包括：[1] MA Zhibo, CHANG Sen, SONG Xuemei, LI Min, WANG Kunjun, LI Yongguo, XU Xinming, ZHANG Qiqi, WANG Lei, YU Rong, LUAN Xin gang, CHENG Laifei. Effect of E-44 Epoxy Resin and Pyrolysis Temperature on the Adhesion Strength of SiBCN Ceramic. Journal of Wuhan University of Technology-Mater. Sci. Ed., 2020, 35(1), 81-86.（000524955300012）[2] Zhibo Ma , Tongxin Guo, Shaolei Cheng, Zechen Song, Jiayan Wang and Weizheng Yuan. Fabrication of ultrahigh-aspect-ratio and periodic silicon nanopillar arrays using dislocation lithography and deep reactive-ion etching. Journal of Micromechanics and Microengineering, 2019, 29(10): 105011.[3] Zhibo Ma, Tongxin Guo, Tianyang Zhang, Wei Wang, Haibin Chen, Xiongxing Zhang, and Weizheng Yuan. Compact Powell Lens-Based Low-Coherence Correlation Interrogation System for Fiber-Optic Fabry-Perot Sensors. IEEE Photonics Journal, 2019, 11(4).[4] Zhibo Ma, Zechen Song, Xirui Huang, Tongxin Guo, Weizheng Yuan, Haibin Chen, Tianyang Zhang and Wei Wang. A Zero-Cross Detection Algorithm for Cavity-Length Interrogation of Fiber-Optic Fabry–Perot Sensors. Sensors, 2019, 19, 3868.[5] Zhibo Ma, Shaolei Cheng, Wanying Kou, Haibin Chen, Wei Wang, Xiongxing Zhang and Tongxin Guo. Sensitivity-Enhanced Extrinsic Fabry-Perot Interferometric Fiber-Optic Microcavity Strain Sensor, Sensors, 2019, 19, 4097. 授权发明专利包括：[1] 马志波，姜澄宇，苑伟政，一种高深宽比微纳复合结构制造方法，ZL. 201210169057.5[2] 马志波，姜澄宇，苑伟政，高占空比自支撑纳米透射光栅及其制作方法，ZL.201110190019.3[3] 苑伟政，马志波，乔大勇，任森，吕湘连，一种高悬浮空间MEMS可动器件的制作方法，ZL. 200710083866.3[4] 苑伟政，乔大勇，马志波，吕湘连，微型纵向驱动器，ZL. 200610041616.9[5] 苑伟政，乔大勇，虞益挺，马志波，一种微型平板静电驱动器及其制作方法，ZL. 200510042712.0 荣誉获奖荣誉获奖 Awards Information 获国家技术发明二等奖1项，省部级技术发明奖3项：[1] 航空航天特种MEMS制造技术及其应用，国家技术发明二等奖，2019年，排名第3。[2] 特种MEMS制造技术及其应用，教育部技术发明二等奖，2015年，排名第3。[3] 柔性微纳结构制造技术及其应用，中国机械工业科学技术发明一等奖，2014年，排名第5。[4] 聚合物基柔性微结构***, 国防科学技术发明二等奖，2012年，排名第5。 科学研究学术成果综合介绍 |
