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邓辉
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副教授
机械与能源工程系
邓辉博士,南方科技大学机械与能源工程系长聘副教授,博士生导师。邓辉博士2017年加入南方科技大学后建立"等离子体先进制造实验室-APMLab"。本团队致力于创新性超精密制造技术的研究,为制造技术向原子精度的突破贡献力量。
实验室研究聚焦于两点:其一、以原子尺度物理化学反应为核心技术手段,开发非应力式原子级材料去除新方法,实现微观尺度的原子级精度制造;其二、以加工算法为基础,研究加工过程的量化控制与预测等关键技术问题,实现宏观尺度的纳米级精度制造。
个人简介
邓辉博士,南方科技大学机械与能源工程系长聘副教授,博士生导师。邓辉博士2017年加入南方科技大学后建立"等离子体先进制造实验室-APMLab"。本团队致力于创新性超精密制造技术的研究,为制造技术向原子精度的突破贡献力量。实验室研究聚焦于两点:其一、以原子尺度物理化学反应为核心技术手段,开发非应力式原子级材料去除新方法,实现微观尺度的原子级精度制造;其二、以加工算法为基础,研究加工过程的量化控制与预测等关键技术问题,实现宏观尺度的纳米级精度制造。
研究领域:
原子及近原子尺度制造: ACSM
原子选择刻蚀技术: Atom-selective Etching
原子迁移制造技术: Atom-migration Manufacturing
工作经历:
2022年12月~至今:南方科技大学,机械与能源工程系,长聘副教授 (研究员)
2017年7月~2022年12月:南方科技大学,机械与能源工程系,助理教授 (副研究员)
2016年3月~2017年6月:新加坡制造技术研究院 (SIMTech),科学家
2013年4月~2016年3月:日本学术振兴会 (JSPS),青年研究员
教育经历:
2013年4月~2016年3月:大阪大学 (日本),精密科学与技术专业,博士
2011年4月~2013年3月:大阪大学 (日本),精密科学与技术专业,硕士
2006年9月~2010年6月:华中科技大学,机械设计制造及其自动化专业,学士
所获荣誉:
2021年:入选“全球排名前2%顶尖科学家”榜单
2021年:期刊Nanomanufacturing and Metrology (NMME), Outstanding Contribution Award
2020年:入选“全球排名前2%顶尖科学家”榜单
2016年:国际光学工程学会 (SPIE),Rudolf Kingslake Award
2015年:中国留学基金委,国家优秀海外留学生奖
2014年:日本机床技术振兴协会,机床技术振兴奖
社会职务:
青年编委:
International Journal of Extreme Manufacturing (IJEM, JCR Q1, IF=10.04)
Nanomanufacturing and Metrology (NMME)
Nanotechnology and Precision Engineering (NPE)
委员:
中国机械工程学会 (CMES) -极端制造分会
美国机械工程师学会 (ASME)
日本精密工学会 (JSPE)
国际纳米制造学会(ISNM)
国际工程与技术科学院(AET)
代表性学术论文:
Fang, Y. Zhang, R. Li, Y. Liang and H. Deng*: An efficient approach for atomic-scale polishing of single-crystal silicon via plasma-based atom-selective etching, International Journal of Machine Tools and Manufacture 159 (2020) 103649. (封面论文)
Yi, Y. Zhang, X. Zhang, F. Fang and H. Deng*: A Generic Approach of Polishing Metals via Isotropic Electrochemical Etching, International Journal of Machine Tools and Manufacture 150 (2020) 103517.
Deng, K. Endo and K. Yamamura: Damage-free finishing of CVD-SiC by a combination of dry plasma etching and plasma-assisted polishing, International Journal of Machine Tools and Manufacture 155 (2017) 38-46.
Deng, K. Endo and K. Yamamura*: Plasma-assisted polishing of gallium nitride to obtain a pit-free and atomically flat surface, CIRP Annals-Manufacturing Technology 64 (2015) 531-534.
Deng, K. Monna, T. Tabata, K. Endo and K. Yamamura*: Optimization of the plasma oxidation and abrasive polishing processes in plasma-assisted polishing for high effective planarization of 4H-SiC, CIRP Annals-Manufacturing Technology 63 (2014) 529-532.
其他信息:
更多信息,请访问APMLab主页:https://faculty.sustech.edu.cn/dengh/
实验室非常欢迎本科生参观了解,请联系:yaoly@mail.sustech.edu.cn
本课题组长期招聘博士后,待遇优厚,欢迎邮件联系:dengh@sustech.edu.cn
个人简介
研究领域
◆原子及近原子尺度制造: ACSM
◆原子选择刻蚀技术: Atom-selective Etching
◆原子迁移制造技术: Atom-migration Manufacturing
教学
1. 等离子体原理与应用(春季/本科、研究生)
2. 机械制造基础 (秋季/本科)
学术成果 查看更多
新闻动态 更多新闻
课题组研究生参加国际会议(ISFT2020)并作报告
2020-12-18
课题组研究生与博士生前往日本大阪大学进行学术交流访问
2018-08-06
祝贺课题组成员刘念的论文在Electrochemistry Communications上发表
2018-02-19
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二、招聘博士后(2名)1. 研究方向: 精密与超精密加工(抛光、磨削、车削等) 特种加工(等离子体、电化学、催化化学等) 分子动力学与第一性原理计算 其他精密/超精密制造与测量类方向 光学检测2.博士后招聘要求: 具有机械、材料、化学、物理等相关专业博士学位; 以第一作者发表过SCI论文2篇以上; 勤奋踏实,具有团队协作精神,能够对课题组硕士生与博士生进行指导; 具有良好的英文交流与科研写作能力。3.薪资待遇: 年薪35万左右(含广东省补助15万元及深圳市生活补助6万),并按照深圳市有关规定享受社会保险和住房公积金; 享受过节费、餐补、计划生育奖励、高温补贴、免费体检等福利待遇; 在站期间,可依托学校申请深圳市公租房,未依托学校使用深圳市公租房的博士后,可享受两年税前2800元/月的住房补贴。 特别优秀候选人可以申请校长卓越博士后,年薪可达50万元以上。(含广东省及深圳市在站生活补贴)。 学校为每位博士后提供在站期间2.5万元的学术交流资助。 博士后出站选择留深从事科研工作,且与本市企事业单位签订3年以上劳动(聘用)合同的,可以申请深圳市博士后留深来深科研资助。深圳市政府给予每人每年10万元科研资助,共资助3年(以深圳市最新申报要求为准)。4.导师简介 邓辉博士,南方科技大学机械与能源工程系研究员,博士生导师。2010年毕业于华中科技大学,2011-2016年获日本住友电工集团以及日本学术振兴会(JSPS)资助,在日本大阪大学攻读硕士和博士学位。2016年加入新加坡制造技术研究院任研究科学家;2017年回国加入南方科技大学。研究工作主要围绕原子级超精密制造这一重要领域的发展需求,立足非应力式材料去除原理、原子级表面创成原理、抛光的量化控制与预测等前沿科学问题,以物理化学加工作为核心技术手段,开展面向半导体、陶瓷和金属材料的超精密制造关键技术研究。个人简介网站:https://faculty.sustech.edu.cn/dengh/5.欢迎各位有志青年加盟 有意应聘者请将详细简历发送至以下邮箱: 邓辉:dengh@sustech.edu.cn 6..工作地点:广东深圳市南山区学苑大道1008号南方科技大学
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